發佈日期：2024/7/9 8:56:24 點擊次數：7801
前言
石英玻璃，被業內譽為“玻璃王”，是採用二氧化硅製造而成的特殊玻璃。具有優秀的物理化學性能，如透光性高、耐高溫、膨脹系數低、電絕緣性能高等，常被製作成石英玻璃管材、石英坩堝等產品，這些產品可用於半導體、光纖通信、電子冶金等領域。高純石英砂，作為石英玻璃原料，其純度對玻璃性能具有至關重要的影響。石英砂中不同雜質元素對性能影響不同：如鉀、鈉等鹼離子容易造成析晶現象，適量鈦元素則有助於降低膨脹系數。針對不同的用途，石英砂中雜質元素的限量要求也有所不同。為適應越來越高的檢測要求，國家硅材料深加工產品質量監督檢驗中心等單位起草的《gb/t 32650-2016電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》正式發佈並實施。
石英砂中雜質元素限值（單位：μg/g）
儀器介紹
icp-ms 2000電感耦合等離子體質譜儀是天瑞儀器完全自主研發的新一代產品，因具有多元素同時檢測、檢測範圍廣、檢出限低等特點而被廣泛應用；配置的碰撞反應池技術能有效去除多原子干擾離子；冷焰模式下能進一步降低鹼金屬等元素的檢出限。
icp-ms 2000產品外觀圖
部分元素在冷焰模式下性能參數
冷焰模式下，繪制各元素0，0.05，0.1，0.2，0.5，1.0μg/l系列濃度標液工作曲線，39k、40ca、56fe等同位素的線性相關係數r均大於0.999，背景等效濃度為0.0023μg/l~0.0217μg/l。
冷焰模式下同位素的背景等效濃度（單位ng/l）
冷焰模式下同位素標準曲線譜圖
應用案例
icp-ms2000測定高純石英砂中雜質元素
參考《gb/t 32650-2016 電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行樣品前處理。利用冷焰模式及標準模式對樣品進行測試，考察背景等效濃度（bec）、方法檢出限（d.l.）、加標回收率、精密度。背景等效濃度在0.6ng/l~60.0ng/l之間，方法檢出限在0.3ng/l~88.2ng/l之間，加標回收率在82.1%~120.4%之間，精密度在1.41%~6.92%之間。
備注：cp表示冷焰模式，hp表示標準模式。
結論
採用icp-ms 2000測定高純石英砂中13種雜質元素，背景等效濃度在0.6ng/l~60.0ng/l之間，方法檢出限在0.3ng/l~88.2ng/l之間，加標回收率在82.1%~120.4%之間，精密度在1.41%~6.92%之間，滿足石英玻璃行業高純石英砂的測試要求。同時該方法也適用於光伏玻璃、高純二氧化硅、氣相二氧化硅等材料中雜質元素的分析測試。
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